基本信息

（MEMS）即微機(jī)電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical Systems），是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的21世紀(jì)前沿技術(shù)。隨著技術(shù)的發(fā)展和產(chǎn)業(yè)的成熟，MEMS已經(jīng)作為一種基本加工工藝和制造理念，滲入到高科技領(lǐng)域及產(chǎn)品的方方面面。在消費(fèi)電子、物聯(lián)網(wǎng)、石油勘探、開采、環(huán)境監(jiān)測(cè)、醫(yī)療、生化、汽車工業(yè)、航空航天以及國(guó)家安全等領(lǐng)域，MEMS具有巨大的市場(chǎng)需求和國(guó)產(chǎn)化需要。
作為中國(guó)最專業(yè)、知名度最高、最權(quán)威的MEMS展覽會(huì)，CHINA MEMS2018取得了極大的成功。專業(yè)觀眾集中在半導(dǎo)體、汽車、電子制造、消費(fèi)類電子、軍工、航空航天、傳感器、物聯(lián)網(wǎng)等多個(gè)領(lǐng)域。國(guó)際專業(yè)觀眾來自28個(gè)國(guó)際和地區(qū)。全球知名的MEMS應(yīng)用與代工廠商、設(shè)備廠商、MEMS重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室專家及科技部863計(jì)劃微納制造技術(shù)主題專家參加了我們的展出和高層論壇。
我們期待更多的企業(yè)參加我們的展會(huì)與論壇，進(jìn)行同行業(yè)間的合作與交流，在展示形象、拓展市場(chǎng)的同時(shí)，尋求合作伙伴和發(fā)展商機(jī)。同時(shí)，也希望通過我們的努力使貴公司能夠在此屆展會(huì)與論壇上取得最大的收獲！
同期會(huì)議：中國(guó)MEMS制造大會(huì)，China MEMS 2019

展品范圍

MEMS 加工設(shè)備
薄膜成形（汽相淀積、濺射、CVD、覆鍍；曝光系統(tǒng)、蝕刻技術(shù)；防腐處理；刻蝕；晶圓鍵合；切割；芯片/導(dǎo)線焊接；封裝；微成形 (注射, 熱壓)；其他生產(chǎn)設(shè)備
納米壓印技術(shù)
微納米模型；納米壓印生產(chǎn)設(shè)備
納米機(jī)械
微制程技術(shù)
超精度納米機(jī)械工藝；超精密加工, 微制造；表面微加工；精細(xì)鉆孔；微觀切割；雷射、離子脈沖加工；聚焦離子束系統(tǒng)；微放電加工；超聲波設(shè)備等
分析與檢測(cè)儀器
光罩缺陷檢測(cè)、封裝檢測(cè)、表面分析儀器、粗糙度儀、掃描電子顯微鏡、薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)；顯微鏡：光學(xué)顯微鏡、電子顯微鏡、探針顯微鏡、電子能譜儀；檢漏儀器、靜電負(fù)離子空氣凈化機(jī)；氣體分析及檢測(cè)、分析和測(cè)量系統(tǒng)
軟件建模
設(shè)計(jì)工具、仿真軟件、CAD & CAE分析軟件
MEMS 代工服務(wù)
仿真設(shè)計(jì)、原型測(cè)試、產(chǎn)品開發(fā)、量產(chǎn)；其他代工服務(wù)：圖案形成、薄膜形成、雷射、離子脈沖加工、噴鍍
材料
壓電薄膜材料(ZnO, AIN, PZT)、抗壓材料、附著材料、保護(hù)材料；碳納米管、藍(lán)寶石、聚合物、陶瓷；LTCC 基板Glass substrate、SiC；磁性材料、鐵電性材料
生物技術(shù)
與醫(yī)療應(yīng)用
MEMS 在醫(yī)療處理及診斷方面的應(yīng)用、DDS、納米膠囊；尖端DNA & RNA 技術(shù)、微反應(yīng)器、微流引導(dǎo)等
MEMS 器件
光學(xué)MEMS (反射, 光量開關(guān), 掃描等)；射頻MEMS (開關(guān)，振蕩器，過濾)；MEMS物理傳感器 (加速傳感器，速率傳感器，壓力傳感器，氣體傳感器，溫度傳感器)；微射流（微流引導(dǎo)，微感應(yīng)器等）；MEMS執(zhí)行器（燈，泵）；MEMS電能（燃料電池，微發(fā)電機(jī)等）；生物/化學(xué)MEMS（DNA/RNA技術(shù)，化學(xué)檢測(cè)等）；高復(fù)合型MEMS (CMOS/MEMS, LSI/MEMS 一體化)
MEMS 應(yīng)用
產(chǎn)品 (麥克風(fēng),顯示等)；超微型機(jī)械人裝置、微型工廠等；傳感器網(wǎng)絡(luò)；能量收集

主辦信息

指導(dǎo)單位：
中國(guó)科學(xué)技術(shù)協(xié)會(huì)
中國(guó)科學(xué)院
主辦單位：
中國(guó)微米納米技術(shù)學(xué)會(huì)
中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)MEMS分會(huì)
中國(guó)材料研究學(xué)會(huì)納米材料與器件分會(huì)
合作伙伴：
中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)
中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所
中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
蘇州中科院產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新與育成中心
承辦單位：
江蘇省納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心
中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)MEMS分會(huì)
上海卓格展覽服務(wù)有限公司

聯(lián)系信息

參展聯(lián)系
手機(jī)：13584824068
郵箱：wancd@sipac.gov.cn